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故障現象	注意檢查情況	處理辦法
啟動困難	電源有故障	檢查是否斷電，或者電源缺相，電壓太低
	異物入泵，轉子卡死	檢查泵腔或開泵檢修
	轉子位置變動	開泵檢修重新定位轉子位置
	轉子與隔板或泵體銹死	清洗轉子腔
	齒輪與軸承損壞或齒輪變位	更換軸承與齒輪，或調整齒輪
	啟動壓力太高	降低啟動壓力
電機過載	電機繞組短路	檢查電機繞組
	轉子有粘性附著物	清洗轉子和轉子腔
	軸承和齒輪損壞	更換軸承和齒輪
	泵泄露	打壓檢查泵泄漏源并修復或開泵檢修
	前級真空低	提高前級真空度
	吸氣壓力過高	降低吸氣壓力
真空度低	電機轉向錯誤	跳換兩根電動機電源線
	前級泵真空度低	檢修前級泵
	系統輕度泄露	打壓檢漏并修復
	泵轉子、泵殼、隔板的間隙過大	維修真空泵減小間隙或返回制造商檢修
	泵的密封泄露	打壓檢漏并修復
	真空表不準	更換真空表
	溢流閥密封泄露	更換溢流閥密封
	泵的選型小	重新選型，更換大泵或機組
	當地大氣壓低	****壓力檢驗真空泵
振動/噪音大	軸承或齒輪損壞	更換軸承或齒輪
	轉子位置變動	開泵檢修重新定位轉子位置
	前級真空度低溢流閥啟動	提高前級真空度檢修前級泵
溫度高	軸承損壞	更換軸承
	前級真空低	提高前級真空度
	油箱油位缺油	加注真空泵油
漏油	軸伸油封磨損或損壞	更換油封
	轉子腔與油箱密封磨損或損壞	更換密封部件
	油箱或油塞泄露	檢查泄漏源并修復
泵油乳化	被抽氣體具有溶解性	與我公司聯系，增設特殊密封
	冷卻水腔泄露	打開端蓋檢查并修復
	前級泵（液環/水環真空泵）反液	檢查前級泵入口閥門